不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往需要由一套真空泵机组来完成。即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来，高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然比较简单的真空泵机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空泵机组。但如在高低真空泵之间再连接一台中真空泵，便可起到承上启下的作用，流量连续，而且各泵皆可工作在上佳状态。
真空泵是为了抽除真空容器内的气体，但往往泵的抽气口不能直接与被抽容器相连接，由于工艺上的需要或是降低有油蒸汽污染的真空泵机组的污染程度，需要通过冷阱、阀门、管道才能与被抽气容器连接。真空泵机组的管道直径大，在相同流量下、液流速度小的条件下，阻力损失就会小；如果直径小，就会加剧阻力损失。因此，真空泵机组的进水管路要装置阀门，用来调理进水量的多少，进水量的多少对真空度有影响，调理进水量时经过察看真空表的指针来控制阀门。
真空泵机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件,材料的选择和密封要特别慎重。一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属密封结构和密封材料。